上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院導(dǎo)師：吳校生 正文

　　導(dǎo)師姓名 吳校生 導(dǎo)師性別 男
　　職務(wù)職稱 副研究員.
　　所在院系 微納科學(xué)技術(shù)研究院
　　所屬學(xué)科 電子科學(xué)與技術(shù)
　　研究方向 微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS） 慣性傳感器
　　聯(lián)系電話 34206400, 13817019325
　　電子郵箱 xswu@sjtu.edu.cn

　　個(gè)人簡(jiǎn)介
　　2004年畢業(yè)于上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院，獲得微電子與固體電子學(xué)博士學(xué)位，隨后留校任教。從攻讀博士學(xué)位就開始從事微慣性器件的研究，具備了開展本課題研究所需的學(xué)術(shù)背景。作為主要研究人員，近年來先后參加和主持了多個(gè)微機(jī)電系統(tǒng)方面課題的研究工作，包括：國(guó)家863計(jì)劃資助項(xiàng)目“可用于微衛(wèi)星及微飛行器的磁懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺的研究”；上海市科委重大項(xiàng)目“先進(jìn)慣性傳感器研究”；國(guó)家863計(jì)劃資助項(xiàng)目“MEMS強(qiáng)鏈及其在信息安全應(yīng)用”；國(guó)防重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室基金“PCR生物芯片”；裝備慣性技術(shù)十一五預(yù)研項(xiàng)目“微型懸浮式陀螺技術(shù)”；武器裝備預(yù)研基金項(xiàng)目“微機(jī)械懸浮轉(zhuǎn)子陀螺技術(shù)”;武器裝備預(yù)演基金項(xiàng)目“基于特殊振動(dòng)模態(tài)壓電式全固態(tài)微陀螺的基礎(chǔ)研究”，國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目“微固體模態(tài)陀螺的基礎(chǔ)研究”，航天支撐基金項(xiàng)目“基于懸浮技術(shù)的導(dǎo)航級(jí)微陀螺的研究”等。在上述各項(xiàng)研究任務(wù)的完成過程中鍛煉了研究能力，積累了MEMS技術(shù)相關(guān)研究經(jīng)驗(yàn)，尤其是有關(guān)微慣性、微　　流體器件以及基于準(zhǔn)LIGA技術(shù)的微細(xì)加工方法。近年來在MEMS微器件方面共發(fā)表學(xué)術(shù)論文20余篇，申請(qǐng)國(guó)家發(fā)明專利14項(xiàng)（1項(xiàng)授權(quán),7項(xiàng)公開）。
　　作為項(xiàng)目主持人先后獲得以下基金的資助
　　上海交通大學(xué)青年教師基金（2007,1 – 2008,12）
　　總裝預(yù)研基金（2007，5 – 2009，4）
　　國(guó)家自然科學(xué)基金（2009,1 – 2011,12）
　　總裝國(guó)防重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室基金（2009,3 – 2011,2）
　　地址：上海市東川路800號(hào)綜合實(shí)驗(yàn)樓2號(hào)樓302室
　　郵編：200240
　　單位：上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院

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