東北大學(xué)機(jī)械工程與自動(dòng)化學(xué)院導(dǎo)師：王慶 正文

　　?個(gè)人簡(jiǎn)介
　　王慶（1970-），男，工學(xué)博士，博士后出站人員，東北大學(xué)副教授，碩士生導(dǎo)師，美國(guó)University of North Texas大學(xué)訪問(wèn)學(xué)者。

　　?聯(lián)系方式
　　13940400630（手機(jī)）；
　　qingwang@mail.neu.edu.cn（郵件）；

　　?主要研究方向
　　（1）納米薄膜的物理化學(xué)氣相沉積；
　?。?）機(jī)械零件的等離子體表面改性；
　?。?）納米薄膜的機(jī)械學(xué)性能研究。

　　?獲獎(jiǎng)情況
　　講授本科生課程—《過(guò)程裝備控制》（課堂教學(xué)、實(shí)驗(yàn)）；曾經(jīng)獲得2008冶金部科技進(jìn)步3等獎(jiǎng)，沈陽(yáng)市科技進(jìn)步3等獎(jiǎng)各一項(xiàng)。

　　?近期論文
　　[1]  Wang Qing, Ba Dechun. The effect ions current density on target etching in Radio Frequency-Magnetron Sputtering Process. Plasma Science and Technology, 2012，14
　　[2]  Swayambhu  Behera, Qing Wang. The plasma pretreatment effects on oxygen plasma-induced carbon loss and surface roughening in an ultralow-k organosilicate glass ?lm. J. Phys. D: Appl. Phys. 44 (2011) 155204
　　[3]  Qing Wang, De-chun Ba. An investigation on hysteresis process of ZnO film deposition and changes of surface morphology and wettability Materials Letters 68 (2012) 320–323

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