華中科技大學工藝設備及自動化系導師:甘志銀
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華中科技大學工藝設備及自動化系導師:甘志銀 正文
姓名:甘志銀
電話:027-87542604
職稱:教授
郵箱:ganzhiyin@126.com
?個人基本情況:
華中科技大學教授。1987在天津南開大學物理系取得學士學位,1990年在北京工業(yè)大學應用物理系取得碩士學位。1992年到2002年,先后在北京、深圳以及武漢工作并從事光電領域研究。2003年6月調(diào)入華中科技大學機械科學與工程學院以及武漢光電國家實驗室成為副教授,同時開始攻讀博士學位。于2008年被授予物理電子學博士學位,2010年成為教授。目前主要從事計算物理、MEMS/NEMS系統(tǒng)設計及仿真、MEMS制造工藝與設備、半導體工藝設備設計與制造等研究。作為技術帶頭人主導的MOCVD設備已獲得廣東省科技廳科技成果鑒定“國際先進”評價,該設備也已進入產(chǎn)業(yè)化階段,實現(xiàn)了市場突破。
?主要研究方向:
微納材料與器件設計與仿真
半導體工藝裝備設計與制造
?開設課程:
微機電系統(tǒng)基礎與應用
微納系統(tǒng)仿真
工程光學
量子力學
?承擔的科研項目:
MOCVD新型反應腔設計、LED缺陷抑制和量子效率調(diào)控(“973計劃”2011CB013100-G子課題)2011.11-2016.11國家科技部(720萬)
半導體照明用生產(chǎn)型MOCVD設備的自主研制(2009A011602004)2009.10-2012.02廣東省科技廳(150萬)
高產(chǎn)能智能MOCVD設備的研制及產(chǎn)業(yè)化(2011A081301007)2011.11-2013.11廣東省科技廳(2000萬)
基于定向生長CNT電磁對準的感應熱壓鍵合技術研究51075171國家自然科學基金面上項目2011.01-2013.12(22.8萬)
面向跨微納尺度MEMS設計的建模仿真平臺研究2007AA04Z348863先進制造領域2007.12-2009.8(39萬)
100lm/W功率型白光LED研究和產(chǎn)業(yè)化2008AA03A184863先進制造領域2009.01-2012.12(40萬)
榮譽與獎勵:
2006年華中科技大學優(yōu)秀青年教工
?代表性著作:
ZhiyinGan,DexiuHuang,XuefangWang,DongLin,ShengLiu.“GetterfreevacuumpackagingforMEMS”,SensorsandActuatorsA:Physical,149(1),2009:159~164.
TingkaiZhang,HonghaiZhang,JianXu,ShengLiu,ZhiyinGan.“Studyontriple-stackanodicbondingusingtwoelectrodes”,SensorsandActuatorsA:Physical,157(1),2010:168~172.
HuiCao,ZhiyinGan,QiangLv,HanYan,XiaobinLuo,XiaohuiSongandShengLiu.“Single-walledcarbonnanotubenetwork/polycompositethinfilmforflowsensor”,MicrosystemTechnologies,16(6),2010:955~959.
C.MingXiang,Y.Xingjian,G.ZhiyinandL.Sheng."ReliabilityofAnodicallyBondedSilicon-glassPackages",SensorsandActuators,120(1),2005:291~295.
SongX.H.,GanZ.Y.,LiuS.,YanH.,andLvQ.(2009),“Computationalstudyofthermocompressionbondingofcarbonnanotubestometallicsubstrates,”JournalofAppliedPhysics106:104308.
SongX.H.,GanZ.Y.,LiuS.,YanH.,andLvQ.(2009),“Controllablefabricationofcarbonnanotube-polymerhybridthinfilmforstrainsensing,”MicroelectronicEngineering86:2330-2333.
SongX.H.,LiuS.,YanH.,andGanZ.Y.,(2009),“First-principlesstudyoneffectsofmechanicaldeformationonoutersurfacereactivityofcarbonnanotubes,”PhysicaE41:626-630
Wang,P.,Gan,Z.Y.andLiu,S.(2009),“ImprovedlightextractionofGaN-basedlight-emittingdiodeswithsurface-patternedITO,”Optics&LaserTechnology41:823-826.
Gan,Z.Y.,Yan,H.,Song,X.H.,Lv,Q.,Cao,H.,Xu,J.P.,Liu,S.(2009)“ApplicationofCar-ParrinelloMolecularDynamicstoGa-richGaNBufferLayerforStressRelaxationinGaNGrownLayer,”InternationalJournalofNonlinearSciencesandNumericalSimulation.10(5):557-562.
Yan,H.,Gan,Z.Y.,Song,X.H.,Chen,Z.H.,Xu,J.P.,Liu,S.(2009),“Adsorptionconfigurationofmagnesiumonwurtzitegalliumnitridesurfaceusingfirst-principlescalculations,”PhysicaB404:3594-3597.
Yan,H.,Gan,Z.Y.,Song,X.H.,Lv,Q.,Xu,J.P.,Liu,S.(2009),“Car-Parrinellosimulationofinitialgrowthstageofgalliumnitrideoncarbonnanotube,”PhysicaE41:1143~1146.
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